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一种ALD设备的喷淋装置.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种ALD设备的喷淋装置.pdf

    本实用新型提供了一种ALD设备的喷淋装置，包括喷淋板和匀流板；所述匀流板上设置有若干匀流片，所述匀流片相互平行等间距布置，所述匀流片与匀流片之间的间隙形成气流的通道；所述匀流板的两侧包括气流流入侧和气流流出侧，所述喷淋板设置于所述匀流板的气流流入侧，并朝匀流板方向喷射处于无序状态的气流，气流经过所述匀流板后由紊流状态变为层流状态。本喷淋装置结构简单，可有效改善真空腔体内喷淋板喷出气流的状态，可以解决现有技术中喷淋装置无法使臭氧与氮气混合均匀导致迎气流边EL发黑的技术问题，它能够保证流经喷淋装置的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214115719 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202021172322.1 (22)申请日 2020.06.22 (73)专利权人 江苏微导纳米科技股份有限公司

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