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一种阳极可侧向抽拉式晶圆水平电镀池.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种阳极可侧向抽拉式晶圆水平电镀池.pdf

    本实用新型提供一种阳极可侧向抽拉式晶圆水平电镀池，包括电镀液池和阳极组件，所述电镀液池的一侧壁上设有抽拉开口，所述电镀液池内还设有导电插座，所述阳极组件包括端板、水平板、阳极金属和导电中继板，所述端板安装在所述水平板的一端，所述阳极金属放置在所述水平板上，所述导电中继板与所述阳极金属导电连接；所述阳极组件穿过所述抽拉开口安装到电镀液池内，且所述导电中继板与所述导电插座导电连接，所述端板经锁付件锁付并压靠在所述抽拉开口外侧的电镀液池外侧壁上，所述端板与电镀液池外侧壁之间还设有密封件。本实用新型相较

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214088717 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202120041227.6 (22)申请日 2021.01.08 (73)专利权人 上海戴丰科技有限公司

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