1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用热分解提纯装置.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约7.59千字
  • 约 9页
  • 2023-04-04 发布于四川
  • 举报

一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用热分解提纯装置.pdf

    本实用新型公开了一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用热分解提纯装置，包括：分解塔体，分解塔体上分别设置有进气孔、出气孔、填料孔，所述分解塔体还接有中频加热器，分解塔体内设置有混合结构，混合结构包括有固定在分解塔体内的填料网，所述填料网内设置有兜网，兜网上活动连接有压鼓装置，填料网的外表面设置有若干振动电机，采用中频加热的方式，对分解塔体内进行的加热，在到达400℃后通入四氟化碳废气，使四氟化碳废气中的微氧成分被热分解为化合物，此化合物能够在后期的加工过程通过吸附、分馏的方式去除掉，能将难以处理的微氧

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214075782 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023105776.X (22)申请日 2020.12.21 (73)专利权人 福建德尔科技有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >