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一种光刻胶喷头清洁装置.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种光刻胶喷头清洁装置.pdf

    本实用新型公开一种光刻胶喷头清洁装置，包括光刻胶喷头、控制器、与光刻胶喷头连接的机械臂、设置在光刻胶喷头侧面的清洁喷头，机械臂、光刻胶喷头和清洁喷头分别与控制器连接；机械臂用于控制光刻胶喷头移动至清洁位置，当光刻胶喷头移动到位时，清洁喷头对光刻胶喷头进行喷液清洗，该清洁位置上设有与清洁喷头配合的废液回收槽，废液回收槽的下端设有废液回收管路。本实用新型可实现自动清洁喷嘴功能，避免人员接触丙酮，降低员工作业风险，在保证清洁效果的前提下，合理控制清洁溶液用量，从而降低生产成本；另外，常规清洁方式需要设

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214077445 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023046584.6 (22)申请日 2020.12.17 (73)专利权人 徐州美兴光电科技有限公司

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