原创力文档- 2
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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型涉及气体提纯技术领域，公开的一种电子气体提纯生产系统，包括吸附装置、分子筛设备、精馏设备，凝压缩装置，所述吸附装置通过分子筛设备与精馏设备联通，精馏设备通过联通阀门第一输出端与凝压缩装置联通；联通阀门第二输出端与吸附装置联通；联通阀门第三输出端与分子筛设备联通。本实用新型能够去除了电子气体的杂质，提高了电子气体的纯度，满足了半导体行业的使用要求。其结构简单，操作方便，生产成本低。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214075790 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202023051986.5
(22)申请日 2020.12.17
(73)专利权人 伊川湄格气体有限公司
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