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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型涉及硅片运输技术领域，具体涉及一种硅片吹扫吸附装置。本实用新型包括安装板，所述安装板两侧对称设置有第一夹取装置，所述第一夹取装置上设置有第一吹气管和第二吹气管，所述安装板中间对称设置有第二夹取装置，所述第二夹取装置上设置有第三吹气管。本实用新型结构合理、简单，操作便捷，通过第一夹取装置和第二夹取装置的配合使用，能够将硅片夹取准备运输，同时通过固定在第一夹取装置上的第一吹气管和第二吹气管对其夹取的硅片进行吹气，从而能够去除第一夹取装置上硅片上的灰尘，同理通过固定在第二夹取装置上的第三吹气
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214099617 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202022902118.7
(22)申请日 2020.12.03
(73)专利权人 无锡市江松科技有限公司
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