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一种反射式光学相控阵芯片及激光扫描装置.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种反射式光学相控阵芯片及激光扫描装置.pdf

    本实用新型公开了一种反射式光学相控阵芯片及激光扫描装置，包括：基底、高反层、压电层、天线阵列以及换能单元；其中，所述高反层设置在所述基底与所述压电层之间；所述天线阵列包括多个纳米天线元件，所述多个纳米天线元件以周期性图案布置在所述压电层上；所述纳米天线元件的高度可调节，以用于改变所述天线阵列的相位；所述换能单元设置在所述压电层上，且布置在所述天线阵列的周围。本实用新型相控阵芯片设置压电层，在压电层布置多个纳米天线元件形成的天线阵列，通过对纳米天线元件的高度调节，以调节天线阵列的出射相位，当光束直

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214124125 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202022409762.0 (22)申请日 2020.10.26 (73)专利权人 深

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