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研磨修复装置及硅棒加工设备.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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研磨修复装置及硅棒加工设备.pdf

    本申请公开一种研磨修复装置及硅棒加工设备，其中，所述研磨修复装置包括安装主体和至少一修磨部，所述至少一修磨部设于安装主体上，用于修磨对应的所述至少一研磨磨具，利用研磨修复装置的修复部与硅棒加工设备的研磨磨具的靠近和接触以实现对研磨磨具的修磨，此时，可控制修磨部沿预定方向的往复运动与对应接触的研磨磨具的旋转以提高修磨效率，有利于硅棒加工设备进行后续的对硅棒的磨面作业。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214080919 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202022772852.6 (74)专利代理机构 上海巅石知识产权代理事务

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