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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型提供一种应用于PICP干刻下电技术领域的PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件，所述的PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件的起吊部件上组件(1)包括带通孔(3)的上吊具(4)，起吊部件下组件(2)包括设置在设备框架上的固定座(6)，固定座(6)上设置垂直布置的杆件(7)，本实用新型所述的PICP干刻下电氦漏检测设备用起吊部件，使得PICP下电在需要放置安装到检测板定版上时，通过起吊部件上组件和起吊部件下组件的插装定位，实现对起吊安装过程中的PICP下电起到导向作用，以对检测板定版和P
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214087290 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202023219173.2
(22)申请日 2020.12.28
(73)专利权人 芜湖芯通半导体材料有限公司
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