1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

晶圆吸附送料装置.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约6.29千字
  • 约 7页
  • 2023-04-04 发布于四川
  • 举报

晶圆吸附送料装置.pdf

    本实用新型公开了晶圆吸附送料装置，包括检测台、送料车和承料装置，所述承料装置置于送料车上，所述检测台上侧壁设有检测装置，所述检测台与检测装置之间设有移动盘，所述检测台上侧壁转动连接有转杆，所述转杆远离检测台的一端固定连接有连杆，所述连杆远离转杆的一端设有伸缩杆，所述伸缩杆远离连杆的一端设有吸附盘，所述吸附盘远离伸缩杆的侧壁开设有多个气孔，每个所述气孔处密封连接有弹性吸盘。本实用新型的优点在于，通过吸附板和弹性吸盘等结构可以对晶圆进行吸附取料，不需要人工取料操作，避免人工取料污染晶圆或者使晶圆损坏

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214099613 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202022862683.5 (22)申请日 2020.12.02 (73)专利权人 深圳远东卓越科技有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >