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- 2023-04-04 发布于四川
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本申请公开了一种分子泵防震装置，包括防震机构，所述防震机构设置于分子泵与闸板阀之间，所述防震机构与分子泵和闸板阀均可拆卸连接。本申请具有提高在闸板阀作用时分子泵的稳定性的效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214092369 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202023335869.1
(22)申请日 2020.12.30
(73)专利权人 北京哲勤科技有限公司
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