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双向功率器件.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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双向功率器件.pdf

    本申请公开了一种双向功率器件，包括：半导体层；第一掺杂区，位于半导体层中；第一沟槽区的多个沟槽，位于第一掺杂区中，将第一掺杂区分隔为交替的第一类子掺杂区与第二类子掺杂区；位于多个沟槽中的栅介质层、控制栅、屏蔽介质层、屏蔽栅；覆盖介质层，位于半导体层表面；以及穿过覆盖介质层的衬底电极、第一接触电极、第二接触电极、第一栅电极以及第二栅电极，其中，第一接触电极、第二接触电极、第一栅电极、第二栅电极以及衬底电极的表面与覆盖介质层平齐。该器件的电极和覆盖介质层齐平，利于后续平坦化工艺需求，同时，由于电极做

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214123884 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202022419892.2 (22)申请日 2020.10.27 (73)专利权人 杭州士兰微电子股份有限公司

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