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溅射镀膜用夹治具.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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溅射镀膜用夹治具.pdf

    本实用新型提供了一种溅射镀膜用夹治具，包括底板、盖板及连接件，底板上形成有凹部，盖板上具有与凹部配合的第一通孔，待镀膜基板放置于凹部，盖板盖设于底板上使待镀膜基板的至少部分通过第一通孔外露；底板与盖板通过连接件连接。上述夹治具通过改变底板上凹部及盖板上第一通孔的尺寸，能够对不同尺寸的待镀膜基板进行镀膜，扩大了现有镀膜机的应用范围，满足了各种尺寸基板的镀膜需求。另外，在将待镀膜基板放入镀膜机或者从镀膜机取出时，可以用机械手抓取夹治具，避免手取或者用机械手直接抓取基板，保证基板表面的洁净度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214088651 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202022972375.8 (22)申请日 2020.12.11 (73)专利权人 浙江美迪凯光学半导体有限公司

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