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一种涂胶机涂胶区防落尘装置.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种涂胶机涂胶区防落尘装置.pdf

    本实用新型公开了半导体制造领域内的一种涂胶机涂胶区防落尘装置，包括水平设置的料带导轨，机台侧板一上固定连接有安装支架一，安装支架一上一体设置有水平的支撑板一，支撑板一上固定连接有向后延伸的盖板一，料带导轨上位于盖板一后方对应设置有挡尘板一，机台侧板二上固定连接有安装支架二，安装支架二上一体设置有水平的支撑板二，支撑板二上固定连接有向前延伸的盖板二，料带导轨上位于盖板二前方对应设置有挡尘板二，挡尘板二的后侧边缘位于盖板二上方。本实用新型能够避免涂胶前后的灰尘颗粒落在料带产品上，不会对IC造成影响，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214077616 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202022858749.3 (22)申请日 2020.12.03 (73)专利权人 江苏汇成光电有限公司

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