MEMS陀螺仪及电子产品.pdfVIP

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2023-04-05 发布于四川
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本实用新型提供了一种MEMS陀螺仪及电子产品，MEMS陀螺仪包括基底、与基底固定连接固定件、呈圆环形且套设于固定件外侧的第一环形件、连接固定件及第一环形件的第一连接件、呈圆环形且套设于第一环形件外侧并与第一环形件间隔设置的第二环形件、连接第一环形件及第二环形件的第二连接件、及与第一环形件及第二环形件中的至少一个形成电容的电极组件，利用圆环形陀螺仪几何结构高度对称的特征，且通过第一环形件与第二环形件中的至少一个与电极组件形成电容，提高陀螺仪的电容，提高灵敏度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214149333 U (45)授权公告日 2021.09.07 (21)申请号 202021346379.9 (22)申请日 2020.07.09 (73)专利权人瑞声科技（南京）有限公司