一种等压式分区吸附工作台.pdfVIP

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2023-04-05 发布于四川
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一种等压式分区吸附工作台.pdf

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本实用新型公开了一种等压式分区吸附工作台，属于曝光设备技术领域。通过设置独立的抽真空共压腔，并通过抽真空管路连通每个工作区域对应的抽真空共压腔，使每个独立的工作区域在抽真空状态下，都处于同一腔体内，形成共压腔，从而保证每个独立工作区域在负压状态下的共压，解决现有技术每个独立工作区域在负压状态下压力不一的问题；通过设置抽真空控制气缸控制抽真空覆盖控制组件通断，实现最佳吸盘分区效果。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214122682 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202120434142.4 (22)申请日 2021.02.26 (73)专利权人无