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一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置.pdfVIP

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  • 2023-04-05 发布于四川
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一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置.pdf

    本实用新型公开了一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置，包括工作台、连接块、伺服电机、转动杆、清理块、抛光块和顶杆，所述工作台的上表面焊接固定有支撑板，且支撑板的内侧开设有滑动槽，并且滑动槽的内部设置有连接块，所述支撑板的上表面螺栓固定有伺服电机，且伺服电机的输出端焊接固定有转动杆，并且转动杆的外表面贴合设置有第一传动带，所述转动杆的外表面焊接固定有连接齿轮，且转动杆的外表面设置有顶杆，并且顶杆的外表面设置有晶圆本体，所述支撑板的内侧表面焊接固定有清理块，且支撑板的内侧上表面设置有抛光块。该便于后续

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214135484 U (45)授权公告日 2021.09.07 (21)申请号 202023328029.2 B24B 47/20 (2006.01)

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