金属靶材产业深度调研及未来发展现状趋势.docxVIP

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  • 2023-04-10 发布于重庆
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金属靶材产业深度调研及未来发展现状趋势.docx

金属靶材产业深度调研及未来发展现状趋势 溅射靶材行业的技术水平和发展趋势 (一)溅射靶材行业的技术水平 溅射靶材是各类薄膜材料的关键材料,应用领域广泛,种类繁多,其纯度、密度、品质等对最终的电子器件的质量和性能起着至关重要的作用。目前高端溅射靶材产品纯度一般在99.99%-99.9999%(即4N-6N),其质量对膜层性能有很大的影响,同时会影响到镀膜的生产效率和成本。溅射靶材的研发涉及到电性、磁性、热性、反射率及颜色外观等多个技术特性。此外,溅射靶材生产企业必须针对客户的各种需求,针对不同靶材应用不同的工艺及材质,譬如金属靶材需使用塑性加工、热处理等技术;陶瓷靶材需要使用到粉体处理、烧结等技

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