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- 2023-04-10 发布于重庆
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金属靶材行业投资价值分析及发展前景预测
溅射靶材应用场景
半导体芯片是对溅射靶材的成分、组织和性能要求的最高的领域。具体来讲,半导体芯片的制作过程可分为硅片制造、晶圆制造和芯片封装等三大环节,其中,在晶圆制造和芯片封装这两个环节中都需要用到金属溅射靶材。靶材在晶圆制造环节主要被用作金属溅镀,常采用PVD工艺进行镀膜,通常使用纯度在99.9995%(5N5)及以上的铜靶、铝靶、钽靶、钛靶以及部分合金靶等;靶材在芯片封装环节常用作贴片焊线的镀膜,常采用高纯及超高纯金属铜靶、铝靶、钽靶等。
具体来看,半导体领域用量较多的溅射靶材主要有钽靶、铜靶、铝靶、钛靶等,其中铜靶和钽靶多配合起来使用,分别用于生
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