一种微波等离子发生系统和蚀刻设备.pdfVIP

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2023-04-06 发布于北京
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一种微波等离子发生系统和蚀刻设备.pdf

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本实用新型公开了一种微波等离子发生系统和蚀刻设备；微波等离子发生系统包括微波电源、波导管、微波谐振腔、送气部和进气装置；波导管一端与微波电源相连；微波谐振腔上具有进气口和至少两个送气口，微波谐振腔与波导管的另一端相通；送气部与送气口相通，进气装置与进气口相通；蚀刻设备包括微波等离子发生系统、晶圆处理腔室、晶圆传送系统和离子化气体控制系统；本实用新型的微波等离子发生系统和蚀刻设备，在微波谐振腔内同时使用两根高纯石英管作为离子化气体的送气通道，这样离子化后的气体分别同时导入两个晶圆处理腔室，实现了一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215418097 U (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202120820527.4 (22)申请日 2021.04.21 (73)专利权人上海璞芯科技有限公司