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一种带有光源的晶圆片研磨垫.pdfVIP

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  • 2023-04-06 发布于四川
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一种带有光源的晶圆片研磨垫.pdf

    本实用新型公开了一种带有光源的晶圆片研磨垫，包括有研磨垫本体，所述的研磨垫本体包括有研磨层、粘结层和基座，所述的研磨层为透明的，在所述的研磨层上设有光源。本实用新型在研磨垫本体上设有光源，在晶圆片研磨时，通过光源的光能，减少晶圆片的研磨难度，光源的顶面与研磨垫本体的研磨面有一定距离，防止晶圆片与光源触碰，结构简单，LED灯布置合理，经济实用。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215433157 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202022969392.6 (22)申请日 2020.12.11 (73)专利权人 铨科光电材料股份有限公司

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