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本实用新型公开了一种HVPE自洁式过滤器，包括：腔体（1），所述腔体顶部设有盖板（2），所述腔体底部设有底板（3），所述腔体侧壁下方开设有尾气进口（4），所述腔体侧壁上方开设有排气管道（5），所述腔体中部安置有纵截面上呈倒几字型的过滤芯（6），所述盖板上插入有伸入过滤芯的倒几字型开口内的氮气管道（7）。本实用新型的有益效果是利用N2，在过滤网的内侧往外侧吹扫，气流将附着在滤网外侧的NH4Cl粉末吹落，因为重力的作用，NH4Cl粉末将落入过滤器底部的存废腔内，这样在HVPE生产过程中无需拆开过滤器
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215388328 U
(45)授权公告日 2022.01.04
(21)申请号 202121509906.8
(22)申请日 2021.07.05
(73)专利权人 镓特半导体科技(铜陵)有限公司
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