原创力文档- 2
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- 2023-04-06 发布于四川
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本实用新型涉及一种晶元篮清洗装置，一侧设有喷淋循环单元的机体，还包括毛刷驱动机构，所述喷淋循环单元包括设在机体外侧的喷淋循环槽，还包括设在所述机体内腔上方的喷淋组，所述喷淋循环槽出水口通过管道与喷淋组进水口连通连接，所述喷淋组内侧设有两端活动穿设在机体侧壁的毛刷组，所述毛刷组的内侧设有往复平移驱动机构，所述往复平移驱动机构的上表面设有装夹平台，所述装夹平台的上部设有工装夹具部件，所述毛刷组输入端与穿设在机体外壁的毛刷驱动机构输出端相连。该晶元篮清洗装置，本装置能够提高清洗效率和洁净度的同时，也对
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215391422 U
(45)授权公告日 2022.01.04
(21)申请号 202121876199.6
(22)申请日 2021.08.12
(73)专利权人 江苏中科晶元信息材料有限公司
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