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- 2023-04-06 发布于四川
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本实用新型公开了一种药液补液加热装置，属于半导体领域。其包括外壳，所述外壳内从外向内依次设置有外耐热保温层和内耐热保温层，所述内耐热保温层内设置有加热管，所述加热管包括封闭壳体和设置在所述封闭壳体内的加热元件，所述加热管分别通过液体进口管道和液体出口管道与所述外壳外界连通。本实用新型可以保证经过加热的药液补充到槽体内槽时符合清洗工艺的要求，并且经过两层隔热防火保护，也可确保药液补液加热装置的安全使用，避免了由于自然蒸发和消耗而造成的清洗效果降低、药液浪费导致的成本增加问题，同时提高了使用的安全性
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215412497 U
(45)授权公告日 2022.01.04
(21)申请号 202122101970.9 F24H 9/20 (2006.01)
(22)申请日 20
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