充电式半永久静电吸附装置.pdfVIP

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2023-04-06 发布于北京
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本实用新型公开了充电式半永久静电吸附装置，该装置主要由线路层、绝缘层、粘结层以及基板组成，所述线路层的内部设有梳齿型线路，所述梳齿型线路的端部分别设有一个供电触点，所述绝缘层贴在线路层的两面，并且绝缘层与线路层通过粘结层粘结在基板上。本实用新型所述的充电式半永久静电吸附装置，属于自动化生产夹具领域，是一种利用静电吸附原理夹持固定被吸附物，适用于大气、真空及等离子体环境，主要作用是吸附各种导体、半导体、绝缘体，并使吸附物保持较好的平坦度，静电吸附在吸附过程中，对被吸附物无任何夹持或吸附应力，静电吸

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215395287 U (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202120572657.0 (22)申请日 2021.03.22 (73)专利权人柯松山地址 51