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本实用新型属于硅片生产领域,具体的说是一种自动硅片脱胶除胶设备,包括池体;所述池体的外表面一侧固接有设备盒;当将所需脱胶除胶的硅片放置硅片盒的内部后,通过第一电机带动螺纹盒进行升降运动,利用固定件将带动硅片盒进行升降运动,当硅片盒通过硅片进口进入到转桶内部时,转桶的内部放置脱胶反应液,通过浸泡反应,将硅片盒内部的硅片进行除胶操作,当除胶完成时,通过升起硅片盒直至转桶的外部,通过开启第二电机,带动转桶转动,通过硅片进口将转桶内部的残液通过残液出口排出,此时可清理硅片外表面的残液,解决了设置两个区域
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215391223 U
(45)授权公告日 2022.01.04
(21)申请号 202121751932.1
(22)申请日 2021.07.29
(73)专利权人 苏州德瑞姆超声科技有限公司
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