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本实用新型提供一种外延生长设备的载具，包括用于放置晶圆片的载盘，载盘中心具有通孔，通孔一侧壁面具有一环状台阶，晶圆片放置于环状台阶上，其中，载盘顶部可拆卸地设置一凸块，凸块具有向环状台阶一侧倾斜的斜边，斜边一端靠近环状台阶的载盘顶部边沿；这个斜边有利于晶圆片准确地放入环状台阶，降低了破片风险，进而降低了晶圆片外延生长的生产成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215404654 U
(45)授权公告日 2022.01.04
(21)申请号 202121238412.0
(22)申请日 2021.06.04
(73)专利权人 厦门市三安集成电路有限公司
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