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- 2023-04-07 发布于北京
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本实用新型公开了一种便于运输的半导体设备,其技术方案要点是:包括机体,所述机体的上端中部固定连接有溅射腔室,所述机体的上端卡接有防护箱,所述防护箱的下端倒角处均固定连接有插柱,所述防护箱设置在溅射腔室的外侧,所述防护箱的内侧固定连接有防护组件,所述机体的上端两侧均开设有插槽,所述插槽的外侧设置有连接组件,所述机体的下侧设置有固定组件,当运输该磁控溅射台时,通过转动转块,转块带动丝杆和主动齿轮转动,从而带动从动齿轮所连接的导杆进行转动,进而带动导板进行上下移动,方便将底部的连接柱和防滑垫进行收纳,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215437810 U
(45)授权公告日 2022.01.07
(21)申请号 202121233669.7 C23C 14/35 (2006.01)
(22)申请日 2
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