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一种晶圆检测机的控制系统安装结构.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种晶圆检测机的控制系统安装结构.pdf

    本实用新型提供了一种晶圆检测机的控制系统安装结构，包括底板，在所述底板的底部设有可调高度的支撑脚，在所述底板的四周分别安装有前面板、后面板、第一侧板和第二侧板，使底座形成一个容纳腔，在所述前面板、后面板、第一侧板和第二侧板上端通过盖板进行定位；在所述容纳腔表面设有移动机构，在所述移动机构上设有物料底板，物料底板上设有载料盘，所述移动机构通过研磨丝杆驱动；在所述后面板设有散热风扇，所述散热风扇的外侧还安装有过滤网；本实用新型的整个底座结构紧凑，容纳腔内还可存放驱动器、控制器等电器原件，设置的移动机

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215499829 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120393938.X (22)申请日 2021.02.23 (73)专利权人 深圳市德斯戈智能科技有限公司

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