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一种隔水PU研磨垫.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种隔水PU研磨垫.pdf

    本实用新型公开了一种隔水PU研磨垫，研磨垫的周边设有隔水材料。芯片研磨时，由于芯片的加压，旋转，液体会从研磨垫周边溢出，导致研磨垫中含水不均一，在设有隔水材料后，减少研磨垫内含水量不均一情况。有利于研磨过程中均一性，研磨芯片研磨均匀。研磨垫从中间到周边含水量差异小于5%。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215470442 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120410034.3 (22)申请日 2021.02.24 (73)专利权人 合肥铨得合半导体有限责任公司

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