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等离子渗氮(PN)物理气相沉积(PVD)新型复合离子渗氮炉.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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等离子渗氮(PN)物理气相沉积(PVD)新型复合离子渗氮炉.pdf

    本实用新型提供了一种等离子渗氮(PN)物理气相沉积(PVD)新型复合离子渗氮炉，包括底座，所述底座的顶部靠近一侧边缘处设置有装置外壳，所述底座顶部靠近另一侧边缘处安装有冷却机。本实用新型，使用中，冷却机通过水泵使冷却机内部的冷水经过第一管、冷凝管、第二管、第三管和连接管再次回到冷却机的内部，从而冷却水循环利用的问题，通过冷凝管可以使装置外壳内部的稳定下降的更加快速，冷却机可以对冷却机内部的使进行冷却，从而可以防止装置在长时间工作中，冷却水会慢慢变成常温水，从而无法达到冷却的效果，增加设备的结构稳

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215481211 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121416515.1 (22)申请日 2021.06.24 (73)专利权人 武

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