一种COS封装激光器的检测装置.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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本发明公开了一种COS封装激光器的检测装置,包括检测台、第一CCD相机、第二CCD相机、第一光谱共焦位移传感器和控制组件,所述检测台包括激光器吸附组件和激光器移动组件,所述激光器吸附组件安装于激光器移动组件上,所述第一CCD相机竖直设置于激光器吸附组件上方,所述第二CCD相机水平设置于激光器吸附组件的一侧,所述第一光谱共焦位移传感器位于检测台的一侧,所述第一光谱共焦位移传感器用于测量激光器出光面和热沉端面的高度差值,所述控制组件与检测台、第一CCD相机、第二CCD相机和第一光谱共焦位移传感器电连

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215491826 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121193577.0 (22)申请日 2021.05.31 (73)专利权人 武汉人和睿视科技有限公司

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