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一种应用于探针台的多通道测试装置.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种应用于探针台的多通道测试装置.pdf

    本实用新型涉及一种应用于探针台的多通道测试装置。包括工作台，工作台的台面上设置有显微镜位移台，其内部工作腔设置有探卡翻转位移台和晶圆卡盘机构；显微镜位移台包括三轴位移组件，其前端设置有显微镜机构；探卡翻转位移台包括探卡Y轴位移组件和若干探卡X轴位移组件，若干探卡X轴位移组件均通过探卡翻转机构滑动设置在探卡Y轴位移组件上；若干探卡X轴位移组件上均滑动设置有若干探卡机构，若干探卡机构均包括探卡四轴微调滑台和探卡；晶圆卡盘机构设置在探卡机构的下方。本实用新型可装备多组探卡机构，每个探卡机构均可在三维空

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215493960 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120902178.0 (22)申请日 2021.04.28 (73)专利权人 苏州伊欧陆系统集成有限公司

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