一种镀膜机构及蒸发镀膜设备.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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本申请公开了一种镀膜机构及蒸发镀膜设备,该镀膜机构包括固定环、支撑架、回转轮、装片治具、回转轨道以及驱动件,其中,所述支撑架一端与所述固定环连接,所述回转轮与所述支撑架另一端连接,且所述回转轮可在所述支撑架上转动,所述装片治具设置于所述回转轮上,且所述装片治具随所述回转轮转动而转动,所述回转轨道设置于所述回转轮底部,且所述回转轮在所述回转轨道上转动,所述驱动件与所述固定环连接,且所述驱动件驱动所述固定环转动以带动所述回转轮上的所述装片治具转动。基片安装在自动翻转机构上,进行自动连续翻装,实现同时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215481226 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120761161.8 (22)申请日 2021.04.14 (73)专利权人 爱发科真空技术(苏州)有限公司

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