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- 2023-04-09 发布于四川
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本实用新型公开了一种真空吸附系统，其包括吸盘，其还包括总进气气路、正压气路、负压气路和进出气气路，所述进出气气路连接所述吸盘，所述正压气路、负压气路分别与所述进出气气路连通，所述正压气路包括储气罐，所述总进气气路为储气罐充气，并通过气控阀控制所述正压气路和所述负压气路分别与所述进出气气路的连通，所述正压气路与所述进出气气路连通时，所述储气罐向所述吸盘输送气体。通过所述储气罐与所述吸盘连通，快速向所述吸盘中充气，使得吸盘内部的负压快速与大气压平衡，快速释放工件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215471155 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202120291434.7
(22)申请日 2021.02.02
(73)专利权人 源能智创（江苏）半导体有限公司
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