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清洗用治具.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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清洗用治具.pdf

    本实用新型提供一种清洗用治具，当对旋转涂布装置的容器内进行清洗时，与以往相比在高度方向上清洗更广的范围。该清洗用治具呈圆盘状，用于在向配置于容器内的旋转保持装置所保持的基板上供给处理液并通过所述基板的旋转来在所述基板上形成所述处理液的膜的旋转涂布装置中清洗所述容器内，在所述清洗用治具的周缘部整周地形成有周缘顶部和周缘底部，在所述周缘顶部与所述周缘底部之间整周地形成有喷出口，在所述周缘底部沿周向隔开间隔地形成有多个通往所述喷出口的孔，所述周缘顶部的下表面朝向外周上方倾斜。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215466779 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120566987.9 (22)申请日 2021.03.19 (30)优先权数据

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