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晶圆背面检查防护装置.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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晶圆背面检查防护装置.pdf

    一种晶圆背面检查防护装置，包括：机械臂，所述机械臂包括若干真空吸嘴，若干所述真空吸嘴具有吸附界面；与所述机械臂可拆卸连接的防护部件，所述防护部件包括承接开口，所述承接开口与所述吸附界面相对应，且所述承接开口的长度尺寸小于所述晶圆的直径尺寸。当所述晶圆从所述机械臂上掉落时，由于所述承接开口与所述吸附界面相对应，而所述晶圆是被吸附在所述吸附界面处，因此所述晶圆会掉落至所述承接开口内。另外所述承接开口的长度尺寸小于所述晶圆的直径尺寸，因此所述晶圆会被所述承接开口的侧壁卡住而无法继续掉落，以此实现承接掉

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218698933 U (45)授权公告日 2023.03.24 (21)申请号 202222579531.3 (22)申请日 2022.09.28 (73)专利权人 常州承芯半导体有限公司 地址 2

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