一种隐裂硅片分选装置.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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本实用新型涉及一种隐裂硅片分选装置,包括底座、用于传输硅片的传输轨道、用于检测隐裂硅片的检测机构、用于分选隐裂硅片的分选轨道、与所述分选轨道连接的升降机构,所述传输轨道、检测机构和分选轨道均设置在所述底座上,所述传输轨道与所述分选轨道交叉设置,所述升降机构驱动所述分选轨道升降。本实用新型的一种隐裂硅片分选装置将传输轨道和分选轨道交叉设置,在正常传输时,升降机构驱动分选轨道降低直至分选轨道低于传输轨道,当检测机构检测到隐裂硅片后,升降机构驱动分选轨道抬升直至分选轨道高于传输轨道,通过分选轨道驱动隐

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215466176 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120892912.X (22)申请日 2021.04.27 (73)专利权人 罗博特科智能科技股份有限公司

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