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一种载板传输机构.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种载板传输机构.pdf

    本实用新型涉及一种PVD载板传输机构，包括机架和用于为载板提供向上的力的磁性悬浮组件，所述机架在载板的两侧边部的位置设有传动组件，所述传动组件与载板的两侧边部接触带动载板传输，所述磁性悬浮组件设置于载板的下方。本实用新型的目的在于提供一种PVD载板传输机构，PVD载板的下方采用了悬浮磁铁组件以提供向上的悬浮力，从而减少传动组件的使用，简化载板传输机构的结构。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215478361 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121216741.5 (22)申请日 2021.06.02 (73)专利权人 福建金石能源有限公司

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