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干法蚀刻装置.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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干法蚀刻装置.pdf

    公开了一种干法蚀刻装置，包括至少一个工艺腔，与所述工艺腔连接的真空交换室，与所述真空交换室连接的至少一个传导室，以及承载台，其特征在于，所述真空交换室内的顶部还包括更换装置，所述更换装置包括：与所述真空交换室内的顶部连接的支架；与所述支架连接的多个固定装置，至少一个所述固定装置载有新的上电极，其中，所述固定装置具有可伸缩的滑轨，所述固定装置的部分可以沿着所述滑轨进入所述工艺腔，并通过顺时针的旋转安装新的上电极。本申请的干法蚀刻装置，通过真空交换室中的更换装置对上电极进行更换，避免了对工艺腔内真空

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215496615 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120486388.6 (22)申请日 2021.03.08 (73)专利权人 长江存储科技有限责任公司

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