一种大直径硅单晶降温冷却及运输设备.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约6.72千字
  • 约 7页
  • 2023-04-09 发布于四川
  • 举报

一种大直径硅单晶降温冷却及运输设备.pdf

本实用新型提供了一种大直径硅单晶降温冷却及运输设备,包括运输车及风冷组件;运输车包括车身、支撑车身的支撑脚及设于支撑脚底部的脚轮,车身上设有多个作为入风口的通孔,车身的上端面设有用于承载单晶的多个承载槽;风冷组件有多个,安装于车身下端面。本实用新型所述的大直径硅单晶降温冷却及运输设备具有结构简单,可在单晶周转传送过程中实现单晶较快降温且避免单晶开裂的优点。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215481411 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120280620.0 (22)申请日 2021.02.01 (73)专利权人 中

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档