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一种便于更换坩埚的高通量薄膜制备装置.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种便于更换坩埚的高通量薄膜制备装置.pdf

    本实用新型涉及一种便于更换坩埚的高通量薄膜制备装置，包括蒸发腔与存储腔；所述蒸发腔通过软连接管路与存储腔连通；所述蒸发腔与存储腔的连通管路设置有截止件；所述蒸发腔内设置有蒸发源以及用于放置坩埚的凹槽；所述存储腔内设置有坩埚存储架以及机械手；所述机械手用于坩埚在凹槽以及坩埚存储架之间的运输；所述坩埚为圆台状坩埚。本实用新型通过存储腔的设置，实现在真空环境下对坩埚进行更换，从而实现多种材料的交替镀膜，有利于实现多种材料对同一基片的真空镀膜，且能够完全避免材料的交叉污染问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215481225 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120670814.1 (22)申请日 2021.04.01 (73)专利权人 宁波星河材料科技有限公司

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