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一种真空扩散用套管.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种真空扩散用套管.pdf

    本实用新型属于半导体制备技术领域，尤其涉及一种真空扩散用套管。其包括管体及两立板，两立板相对设置固定在管体内壁，与管体形成半包围空间。本实用新型用于解决放置操作繁琐的问题，利用在管体内竖立的两立板形成一半包围空间，将需要扩散用的扩散源放置其中，避免了重复放置坩埚，再在坩埚中放置扩散源的问题，节省了操作步骤，提高操作效率，降低了生产成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215486884 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121204159.7 (22)申请日 2021.05.31 (73)专利权人 江苏扬杰润奥半导体有限公司

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