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一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台.pdf

    本实用新型涉及集成电路测试技术领域，具体涉及一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台。包括真空保温层，所述真空保温层上端设置有保温盖，所述保温盖和所述真空保温层内侧形成保温腔，所述真空保温层外侧和底部包裹有防护层，所述保温腔内设置有载物台，所述载物台上表面设置有用于定位和固定晶圆的晶圆固定件、四周开有用于安装传感器的若干sensor孔；所述保温盖上开有注液口、并通过上盖板盖住，所述防护层外侧和底部包裹有外壳，所述外壳下端固定有安装适配板。本实用新型通过真空保温层和保温盖构成的保温腔，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215493961 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120902179.5 (22)申请日 2021.04.28 (73)专利权人 苏州伊欧陆系统集成有限公司

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