一种硅片切片机断线检测装置.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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本实用新型公开了一种硅片切片机断线检测装置,涉及新型断线检测装置技术领域。本实用新型包括断线检测装置主体和断线检测接入端块,断线检测装置主体一侧的顶端固定连接有断线检测接入端块,还包括自动化防尘保护结构、保护气体注入结构和空气抽排导出结构,断线检测接入端块的一侧固定连接有自动化防尘保护结构。本实用新型通过自动化防尘保护结构的设计,使得装置便于在接线后自动化形成防尘遮蔽保护,从而使得使用环境无导电尘埃,提高使用性能,且通过保护气体注入结构和空气抽排导出结构配合设计,使得装置便于对检测接入位置进行破

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215494049 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121209437.8 (22)申请日 2021.06.01 (73)专利权人 无

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