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- 2023-04-09 发布于四川
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本实用新型公开了一种硅片制造用清洗装置，包括箱体，所述箱体的内腔下端设置有支撑过滤组件，所述箱体的左右两侧均设置有液压推杆，所述箱体的顶部设置有清洗机构，所述清洗机构包括空心横板，所述液压推杆的顶部动力伸缩端与空心横板相固接，所述空心横板的底部均匀固接有清洗板，所述清洗板的左右两侧壁均设置有柔性刷毛，所述空心横板的底部均匀开设有排水孔，且排水孔与柔性刷毛一一相对应，所述空心横板的右侧设置有进水管，所述箱体的左右两侧均设置有限位机构，所述箱体的左侧壁底部设置有排水管，本实用新型结构设计合理，便于对
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215466283 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202121286672.5 H01L 21/687 (2006.01)
(22)申请日
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