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- 2023-04-09 发布于四川
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本实用新型公开了一种单晶硅片自动清洗装置，包括异形传送带、主动辊、送料架和收料架，所述异形传送带为镂空的网状结构，所述异形传送带与主动辊倾斜设置，所述送料架安装在异形传送带的前端，所述收料架安装在异形传送带的后端，所述异形传送带较低的一侧设有垂直异形传送带带面的挡块，所述异形传送带工作面的上方设有上喷头和上吹风罩，所述异形传送带工作面的下方设有下喷头和下吹风罩，所述上喷头与下喷头位置对应，且两者位于异形传动带靠近送料架的一端；采用倾斜、镂空设置的异形传送带结构，方便喷头和吹风罩对单晶硅片进行在输
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215466425 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202120949865.8
(22)申请日 2021.05.06
(73)专利权人 宇泽（江西）半导体有限公司
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