1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种芯片加工用蚀刻装置.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约5.66千字
  • 约 6页
  • 2023-04-09 发布于四川
  • 举报

一种芯片加工用蚀刻装置.pdf

    本实用新型公开了一种芯片加工用蚀刻装置，包括蚀刻箱本体、开设在蚀刻箱本体内的清理槽以及固定在蚀刻箱本体底部用于对工件进行蚀刻的蚀刻件，还包括固定在蚀刻箱本体上储水箱以及固定在清理槽内的喷头，储水箱的内壁上固定有抽水泵且其与喷头通过管道连接，清理槽内旋转设置有旋转块，清理槽的内壁上固定有主电机且其输出轴转动时可驱动与其输出轴固定配合的旋转块转动，旋转旋转块以使旋转块驱动工件转动，转动中的工件可通过喷头将水传输到工件上对其进行清理，清理槽与储存箱通过管道连接，可以对芯片进行自动清洗。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215496634 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120777904.0 (22)申请日 2021.04.16 (73)专利权人 绍兴宇力半导体有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >