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一种硅片传输装置.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种硅片传输装置.pdf

    本实用新型涉及一种硅片传输装置，包括传输机构，所述传输机构包括并排设置的第一传输轨道和第二传输轨道，所述第一传输轨道和所述第二传输轨道分别设置在第一底座和第二底座上，所述第一底座和所述第二底座之间连接有第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述第二底座横向移动且所述第二底座的移动方向与所述第一传输轨道的传输方向相垂直。本实用新型的一种硅片传输装置通过第一驱动机构移动第二底座，使得第二底座与第一底座产生相对位移，从而在第一传输轨道和第二传输轨道之间形成相对位移，在保持第一传输轨道和第二传输轨道传输的同

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215496655 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120801589.0 (22)申请日 2021.04.19 (73)专利权人 罗博特科智能科技股份有限公司

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