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- 2023-04-09 发布于四川
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本申请涉及一种氧化镓研磨液自动分流装置，属于氧化镓加工设备的技术领域，其包括定位管，定位管的底端封闭，定位管的上方设有进流管，定位管的侧壁固定连接有若干分流管，分流管穿设定位管的侧壁并与定位管连通。本申请具有减小研磨液在多个工作站之间喷洒研磨液出现断层的现象，减小氧化镓晶片在研磨过程中出现划伤和碎裂的可能性，保证研磨的质量，从而节约资源的效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215470526 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202121014818.0
(22)申请日 2021.05.12
(73)专利权人 陈政委
地址 10
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